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Mikrosystemtechnik

Die Mikrosystemtechnik-Ingenieurin, der Mikrosystemtechnik-Ingenieur beherrscht die fachübergreifende Anwendung von Methoden der Mikroelektronik, der Mikromechanik, der Mikrofluidik, der Mikrooptik und der Werkstofftechnik, also die Kombination von klassischen Ingenieurdisziplinen mit Teilaspekten der technischen Physik.

Die Mikrosystemtechnik beschäftigt sich mit etwas "Winzigem": Mikrosysteme sind miniaturisierte, intelligente Produkte, welche über Sensoren die Umgebung erfassen, diese Informationen verarbeiten und daraus Signale an Aktoren zur Ausführung weitergeben.

Mikrosysteme sind in Gütern unseres Alltags nicht mehr wegzudenken. Moderne Produkte wie Mobiltelefone, Digitalkameras, CD/DVD-Player, Harddisks, Tintenstrahl-Drucker, Airbags, etc. wären ohne den Einsatz mikrotechnischer Komponenten und der Anwendung mechatronischer Konstruktionskonzepte nicht verfügbar.

Die technische Entwicklung wird immer mehr von der Miniaturisierung von Komponenten und deren Integration zu Modulen und ganzen Systemen geprägt. Nebst den dazu notwendigen Verfahren und Prozessen (wie Dünnschichttechnologien, Mikrostrukturierungsmethoden, etc.) kommen den automatisierten Fertigungs- und Verarbeitungsverfahren, also dem sogenannten Handling und Packaging von Mikrokomponenten, eine herausragende Bedeutung zu.

Dies gilt insbesondere bei Bauteilen, welche mittels Nanotechnologie-Verfahren hergestellt werden. Diese müssen vor schädlichen Umwelteinflüssen geschützt und mittels Verbindungstechnik mit der Aussenwelt verbunden werden.

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