- Nummer
- 09170Sa
- Leitung
- Gregor Burkhard Fachhochschule Solothurn Nordwestschweiz
- ECTS
- 3.0
- Zielsetzung
- Die Fertigungsverfahren für die Mikrosystemtechnik und ihre Eigenschaften kennen.
- Inhalt
- Photolithographie Belichtungsverfahren, Lack und Resistchemie, Maskentechnik Schichten, SMD, PVD/CVD Oxidation Dotieren Diffusion Schichtstrukturierung Nass- und Trockenätzen Abformverfahren Oberflächenreinigung Defektdichteabschätzung Reinraumtechnik Fertigungsmessverfahren Oberflächencharakterisierungsverfahren Elektronenmikroskopie Rasterkraftmikroskopie (Atomic Force Microscopy)
- Besondere Eintrittsvoraussetzungen
- 05-080, 05-090