Hauptinhalt überspringenNavigation überspringenFooter überspringen
Logo der Fachhochschule Nordwestschweiz
Studium
Weiterbildung
Forschung und Dienstleistungen
Internationales
Die FHNW
De
Standorte und KontaktBibliothek FHNWKarriere an der FHNWMedien

      Logo der Fachhochschule Nordwestschweiz
      • Studium
      • Weiterbildung
      • Forschung und Dienstleistungen
      • Internationales
      • Die FHNW
      De
      Standorte und KontaktBibliothek FHNWKarriere an der FHNWMedien
      Module
      Fertigungsverfahren der Mikrosystemtechnik

      Fertigungsverfahren der Mikrosystemtechnik

      Nummer
      09170Sa
      Leitung
      Gregor Burkhard Fachhochschule Solothurn Nordwestschweiz
      ECTS
      3.0
      Zielsetzung
      Die Fertigungsverfahren für die Mikrosystemtechnik und ihre Eigenschaften kennen.
      Inhalt
      Photolithographie Belichtungsverfahren, Lack und Resistchemie, Maskentechnik Schichten, SMD, PVD/CVD Oxidation Dotieren Diffusion Schichtstrukturierung Nass- und Trockenätzen Abformverfahren Oberflächenreinigung Defektdichteabschätzung Reinraumtechnik Fertigungsmessverfahren Oberflächencharakterisierungsverfahren Elektronenmikroskopie Rasterkraftmikroskopie (Atomic Force Microscopy)
      Besondere Eintrittsvoraussetzungen
      05-080, 05-090

      Studium

      Angebot

      • Studium
      • Weiterbildung
      • Forschung & Dienstleistungen

      Über die FHNW

      • Hochschulen
      • Organisation
      • Leitung
      • Facts and Figures

      Hinweise

      • Datenschutz
      • Accessibility
      • Impressum

      Support & Intranet

      • IT Support
      • Login Inside-FHNW

      Member of: