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Module
Fertigungsverfahren der Mikrosystemtechnik

Fertigungsverfahren der Mikrosystemtechnik

Nummer
09170Sa
Leitung
Gregor Burkhard Fachhochschule Solothurn Nordwestschweiz
ECTS
3.0
Zielsetzung
Die Fertigungsverfahren für die Mikrosystemtechnik und ihre Eigenschaften kennen.
Inhalt
Photolithographie Belichtungsverfahren, Lack und Resistchemie, Maskentechnik Schichten, SMD, PVD/CVD Oxidation Dotieren Diffusion Schichtstrukturierung Nass- und Trockenätzen Abformverfahren Oberflächenreinigung Defektdichteabschätzung Reinraumtechnik Fertigungsmessverfahren Oberflächencharakterisierungsverfahren Elektronenmikroskopie Rasterkraftmikroskopie (Atomic Force Microscopy)
Besondere Eintrittsvoraussetzungen
05-080, 05-090

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