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Module
Herstellung von MEMS

Herstellung von MEMS

Nummer
09190Sd
Leitung
Hans Wernher van de Venn
ECTS
1.0
Unterrichtssprache
Deutsch
Zielsetzung
Herstellungsprozess von MEMS
Inhalt
Praktische Übung zur Herstellung von MEMS
Besondere Eintrittsvoraussetzungen
OBE 05-090 v-05 OBE 09-160 v-05
Bibliographie/Literatur
Mediothek Skript
Lehrform
Kontaktstudium Angeleitetes Selbststudium Freies Selbststudium
Bemerkungen
in Zusammenarbeit mit externen Labors

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