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      Herstellung von MEMS

      Nummer
      09190Sd
      Leitung
      Hans Wernher van de Venn
      ECTS
      1.0
      Unterrichtssprache
      Deutsch
      Zielsetzung
      Herstellungsprozess von MEMS
      Inhalt
      Praktische Übung zur Herstellung von MEMS
      Besondere Eintrittsvoraussetzungen
      OBE 05-090 v-05 OBE 09-160 v-05
      Bibliographie/Literatur
      Mediothek Skript
      Lehrform
      Kontaktstudium Angeleitetes Selbststudium Freies Selbststudium
      Bemerkungen
      in Zusammenarbeit mit externen Labors