- Nummer
- 09190Sd
- Leitung
- Hans Wernher van de Venn
- ECTS
- 1.0
- Unterrichtssprache
- Deutsch
- Zielsetzung
- Herstellungsprozess von MEMS
- Inhalt
- Praktische Übung zur Herstellung von MEMS
- Besondere Eintrittsvoraussetzungen
- OBE 05-090 v-05 OBE 09-160 v-05
- Bibliographie/Literatur
- Mediothek Skript
- Lehrform
- Kontaktstudium Angeleitetes Selbststudium Freies Selbststudium
- Bemerkungen
- in Zusammenarbeit mit externen Labors