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      Module
      Herstellung von MEMS

      Herstellung von MEMS

      Nummer
      09190Sd
      Leitung
      Hans Wernher van de Venn
      ECTS
      1.0
      Unterrichtssprache
      Deutsch
      Zielsetzung
      Herstellungsprozess von MEMS
      Inhalt
      Praktische Übung zur Herstellung von MEMS
      Besondere Eintrittsvoraussetzungen
      OBE 05-090 v-05 OBE 09-160 v-05
      Bibliographie/Literatur
      Mediothek Skript
      Lehrform
      Kontaktstudium Angeleitetes Selbststudium Freies Selbststudium
      Bemerkungen
      in Zusammenarbeit mit externen Labors

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