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Modulbeschreibung - Mikrosystemtechnik

Nummer
04040
Leitung David Hradetzky (Modulverantwortlicher)
ECTS 3.0
Unterrichtssprache Deutsch
Lernziele/Kompetenzen Die Studierenden kennen:
  • grundlegende Fertigungsprinzipien für Mikrosysteme und die Vielfalt an mikrotechnischen Fertigungsverfahren der Dünnschichttechnik
  • nicht konventionelle Mikrotechnologien
  • den Einsatz dieser Methoden anhand von ausgewählten Beispielen aus der Mikrosystemtechnik und Mikroelektronik
  • mikrotechnische Grundstrukturen, zugehörige Herstellungsprozesse sowie grundlegende Prinzipien für mikrotechnische Sensoren und Aktoren
  • mikrotechnische Systemintegration

Lerninhalte Reinraumtechnologie
Materialien und Substrate
Mikrostrukturierung (konventionell und nicht-konventionell)
Charakterisierung von Mikrostrukturen
Mikroelektronik
Mikrotechnische Grundstrukturen und deren Fertigung
Sensoren - Funktionsweise, Aufbau, Einsatz
Aktoren - Funktionsweise, Aufbau, Einsatz
Monolithische und hybride Integration
Aufbau- und Verbindungstechnik
Erforderliche Vorkenntnisse B-LST-A 01 010
Bibliographie/Literatur Obligatorisch:

Empfohlen:
weitere Infos in der Vorlesung:
Sabine Globisch, "Lehrbuch Mikrotechnologie: für Aus-bildung, Studium und Weiterbildung", Hanser Verlag 2011
Friedemann Völklein , "Praxiswissen Mikrosystemtechnik - Grundlagen, Technologien, Anwendungen", Vieweg Verlag 2006
Gerald Gerlach, "Einführung in die Mikrosystemtechnik" Hanser Verlag
Modultyp Pflichtmodul
Lehr- und Lernmethoden Kontaktlektionen
Interaktiver Entwurf von Mikrosystemen
Leistungsbewertung gemäss Modulverzeichnis der aktuellen StuPro
Bemerkungen 03.07.2013
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